大连诚源机电设备
有限公司官网

联系方式

地 址:大连市甘井子 区中华西路28号中南大厦  B1109
电 话:0411-86516861
传 真:0411-86516862
邮 箱:info@

在线咨询

行业新闻

您现在的位置: 首页 > 新闻中心 > 行业新闻
晶体生长和半导体 加工型电磁感应加热电源
作者: 发布于:2012-4-28 10:17:50 点击量:

    XW PRO系列的C型电磁感应加热电源 用于晶体生长和半导体加工:

→XW PRO系列的C型感应加热电源 是专为晶体生长和半 导体加工设计的输出功率高稳定型产品,在RISC 的控制下,其输出 功率稳定性可达 0.1% ,分辨率达  0.02% ,并且在恒功率运 行时,输出功率不受电网波动以及其它加热条件变化的影响,可实现对晶体生长高稳定度功率输出的要求。

→采用RS232C或RS485进行通讯控制,对 于额定功率60kW机器,可实现 10W的功率输出步长调 节。

→XW PRO  采用了全数字软件 锁相技术,系统采用 FFT IGBT 电流进行谱分析, 轻松滤掉外界对采集信号的干扰。纳秒级的控制周期能保证在任何情况下均能使 IGBT 工作于准谐振软开 关状态,极大减小了开关损耗,提高了系统可靠性。

→装置具有恒功率运 行和恒电流运行模式,两种模式的输出稳定性均达到0.1% ,晶体生长和半导 体加工应用时,一般均采用通讯控制、恒功率运行模式。

→经阻抗匹配,可适 合各种坩埚,例如石墨坩埚、铂金坩埚、铱坩埚等。

→全空冷结构,系统 效率高,功率因数高。

→额定功率连续运行 设计,系统故障率低,装置无水系统故障。

→多种控制方式以及 丰富的接口,容易实现自动控制。

→在RISC的精确控制下,频 率自动跟踪,保证设备工作在最佳谐振状态;且在电网电压波动情况下,输出功率能保持不变。

→保护限制功能齐全 可靠,在感应器短路、工件短路、过载运行、电网波动等异常情况下设备不损坏。

→输出变压器隔离, 感应器电压低、且可以单端接地。

→多路可编程的智能 模拟输入与输出,数字输入与输出端子。方便与其他设备及仪器仪表的互联,可组成复杂的自动化控制系统;

→中文显示界面,参 数在线设置功能。

→感应器水流量检测 及水流量低保护 。装置提供可选的感应器水流量检测 及水流量低保护功能,可以实时监测感应器水流量,且保护值可任意设置。

 
事项
 
→对输出功率高稳定 型的控制一般要采用数字式的通讯控制(外部 PC 或 PLC 做为主机),否则 可能达不到所需的精度和分辨率入。
→输出功率高稳定应 用场合时,一般不再使用内置的 PID 进行控制,否则达 不到所需的精度要求。

 



相关文章
  版权所有:大连诚源机电设备 有限公司  总 机:0411-86516861
24小时手机: 13889511188   地 址:大连市甘井子 区中华西路28号中南大厦  B1109(116091)
Copyright(C) 2013 xinwin All Right Reserved.  提供技术支持
 
友情链接:    彩票赔率高的平台   FG21点   十大时时彩正规平台   王者彩票   微信买彩票合法吗